환경 및 성능 측면에서 SF6 대체 가능

독일의 세계적인 가스 및 엔지니어링 전문 회사인 린데그룹의 글로벌 전자 사업부인 린데 일렉트로닉스(Linde Electronics)는 최근 한국디스플레이산업협회(KDIA)로부터 린데 온사이트 불소를 현재 TFT-LCD 패널의 건식식각 공정에 이용되고 있는 SF6를 대체할 수 있는 수단으로 평가 받았다고 밝혔다.

린데의 온사이트 불소는 CO2보다 지구 온난화 지수가 2만3900배 큰 온실가스인 SF6의 직접적인 대체 수단으로서 더 높은 생산성과 에너지 효율성, 친환경성을 안정적으로 제공한다.

KDIA 회원사 측에서 평가한 결과에 따르면 Gen 4.5 크기의 패널에서 실리콘산화물 및 나이트라이드 필름에 대해 린데의 불소를 사용했을 경우 동일한 테이퍼 각을 유지하면서 식각률 및 식각 균일도가 크게 개선됐다.

KDIA R&D 기획팀(Planning Team) 내의 한 관계자는 “KDIA는 한국에서 디스플레이 생산이 환경에 미치는 영향을 개선하기 위한 여러 가지 프로그램을 실행하며 특히 SF6 사용 감축을 강조하고 있다”며 “이번 평가 결과는 F2가 SF6를 대체해 더 나은 성능을 발휘할 수 있다는 사실을 보여준 첫 번째 테스트다”고 전했다.

린데의 불소 사업부 대표인 Carl Jackson은 “디스플레이 생산이 환경에 미치는 영향을 개선하고 제조업체들의 공정성과 개선을 돕기 위한 KDIA 프로그램을 지원하게 된 점을 매우 기쁘게 생각한다.”고 말했다.

린데는 한국을 위한 온사이트 불소 개발을 꾸준히 지원해 왔으며 최근 늘어나는 주문량에 대처하기 위해 한국 인주에 F2 생산 시설을 구축한 바 있다. 

저작권자 © 에너지신문 무단전재 및 재배포 금지