린데코리아, ‘ i-SEDEX 2012' 참가

독일의 세계적인 가스 및 엔지니어링 전문 회사인 린데 그룹의 한국 내 법인인 린데코리아는 9일~ 11일 일산 킨텍스에서 열리는 국제반도체대전 'i-SEDEX 2012'에 참가한다고 밝혔다.

린데코리아는 이번 전시회에서 린데의 토탈 가스 매니지먼트, 불소(Fluorine; F₂), 아산화질소(Nitrous Oxide; N₂O)등 반도체 제조 공정을 위한 다양한 제품을 선보일 예정이다.

이 중 린데의 불소(Fluorine; F₂) 가스는 반도체 제조 공정 중 박막 필름 PECVD Chamber 의 세정 가스로 사용되고 있으며, 기존에 사용되고 있는 세정 가스에 비해, 친환경적이고 세정능력이 뛰어난 덕분에 관심이 주목될 것으로 예상된다.

린데코리아 롭 휴즈 대표이사는 ”가스업계의 글로벌 리더인 린데코리아가 국내 최대반도체 산업 행사인 i-SEDEX에 참가해 최신의 기술력을 담은 솔루션을 선보일 수 있게 되어 매우 기쁘다”며 “산업용 가스 분야의 선도주자로서 앞으로도 린데코리아는 최상의 제품과 서비스 포트폴리오를 지속적으로 개발해 반도체 산업 뿐 아니라 더 나아가 한국의 산업과 경제발전에 이바지 할 것이다”고 말했다.

산업용 가스 생산 및 관련 엔지니어링 부문에서 업계를 선도하는 린데코리아는 1988년 포항에 산업용가스 제조설비를 가동한 이래 비즈니스를 확장시켜 전국적으로 상품 및 서비스 관련 기반을 넓혀가고 있다